반도체 제조 장비용 터보 분자 펌프

터보 분자 펌프 터보-H200/1400-FF

분자 펌프 자동 단위 자동 제어 시스템을 포함, 각 펌프와 밸브의 시작 및 중지 제어 절차에 따라, 사전 펌핑을 달성하기 위해, 앞 단계,높은 밸브 제어다양한 사용 환경에 적합. 사용자는 필요에 따라 밸브, 주요 펌프, 전면 펌프 및 특수 기능을 사용자 정의 할 수 있습니다.

분자 펌프는 독립적으로 작동 할 수 없습니다. 동시에 분자 펌프를 구입할 때, 해당 전면 펌프, 밸브, 냉각 시스템 및 기타 관련 액세서리를 지원해야합니다.사용자를 위한 구매 및 사용이 용이하기 위해, 우리는 분자 펌프 단위를 도입했습니다.

모듈형 설계 원칙 덕분에, 분자 펌프 단위는 우리의 다양한 분자 펌프와 선택적으로 많은 조합 가능성을 가지고,냉각 시스템, 사전 펌프 밸브 시스템 및 자동 제어 시스템. 결과적으로 분자 펌프 단위는 고 진공 및 초 고 진공 분야에서 응용 요구 사항에 완벽하게 적응합니다.

진공 단위는 또한 연구 개발, 가속기, 분석 및 표면 물리학에서 귀하의 특정 응용 필요를 충족하기 위해 개별적으로 특별한 구조를 설계하는 맞춤 서비스를 제공합니다,그리고 진공 공정 기술과 일반적인 진공 애플리케이션.